Verity Instruments의 분광기는 주로 반도체 제조 공정에서 실시간 모니터링과 제어를 위해 사용됩니다. 아래에 주요 사용 방안과 함께 설명드리겠습니다. 1. 에칭 공정의 엔드포인트 감지에칭 공정 중 특정 층이 제거되면, 분광기를 통해 방출되는 광학 신호의 변화를 감지하여 공정 종료 시점을 정확하게 판단할 수 있습니다. 이는 공정의 정확성과 재현성을 높이는 데 필수적입니다.2. 박막 두께 측정박막 증착 공정에서 분광기를 사용하여 필름의 두께를 실시간으로 측정할 수 있습니다. 이를 통해 원하는 두께에 도달했을 때 공정을 종료하거나 조정할 수 있어 품질 관리에 유용합니다. 3. 플라즈마 진단플라즈마 공정 중 분광기를 활용하여 플라즈마의 특성(예: 이온 밀도, 전자 온도 등)을 분석할 수 있습니다...
