Epitaxial wafer

 

에피택셜 웨이퍼(Epitaxial Wafer)는 단결정 실리콘 기판 위에 단결정 실리콘 층을 추가로 증착한 웨이퍼를 말합니다. 이러한 에피택셜 층은 기판과 동일한 결정 구조를 가지며, 고성능 반도체 소자의 제작에 필수적입니다. 에피택시(Epitaxy) 공정은 기판 위에 얇은 단결정 박막을 성장시키는 기술로, 온도, 압력, 가스 유량 등의 매개변수를 엄격하게 제어하여 고품질의 결정 구조를 형성합니다.

 

 

SemiCorex

에피택셜 웨이퍼 제조 기업:

• Coherent: 최첨단 MOCVD 플랫폼을 사용하여 고품질의 III-V 에피택셜 웨이퍼를 생산하며, 레이저, 검출기 등 다양한 광전자 소자에 활용됩니다.
• Coherent Inc
• SK실트론: 폴리시드 웨이퍼 위에 수 마이크로미터 두께로 실리콘 단결정층을 증착한 에피택셜 웨이퍼를 생산하며, 로직 디바이스 및 CMOS 이미지 센서 등 비메모리 반도체에 사용됩니다.
• SK Siltron
• GNC MATERIALS INC.: 단결정 실리콘 기판 위에 단결정 실리콘 층을 추가한 에피택셜 웨이퍼를 제조하며, 기판과 에피택셜 레이어 모두 동일한 결정 구조를 가집니다.
• GNC MATERIALS INC.

에피택셜 웨이퍼는 고품질의 결정 구조를 다양한 적층 구조로 만들 수 있어 일반 웨이퍼보다 가격이 비싸지만, 고성능의 반도체 집적회로를 제작하는 데 필수적입니다.